干法刻蚀定义
2024-04-20
干法刻蚀是一种重要的微纳加工技术,用于在材料表面制作微小的结构和器件。它通过在材料表面使用化学气相刻蚀剂,以控制刻蚀速率和方向,从而实现精确的刻蚀。干法刻蚀技术具有高精度、高速度和高可重复性的特点,被广泛应用于微纳电子、光学、生物医学等领域。本文将详细阐述干法刻蚀的定义以及其相关方面。 1. 原理与机制 干法刻蚀的原理是利用化学气相刻蚀剂与材料表面发生反应,形成可挥发的产物,从而使材料表面发生刻蚀。刻蚀速率和方向可以通过控制刻蚀剂的浓度、温度、压力等参数来调节。干法刻蚀的机制包括气相扩散、表面